SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測(cè)儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量,，讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格變實(shí)惠,，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、磨損情況,、腐蝕情況、粗糙度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、表面缺陷,、面形輪廓,、波紋度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。具有雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能特征

1,、高精度、高重復(fù)性

3D重建算法,、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng),，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性,。

2,、一體化操作的測(cè)量分析軟件

測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口,，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移,、找條紋等測(cè)量前工作,。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測(cè)儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測(cè),，具有測(cè)量精度高、操作便捷,、功能全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)?；诎坠飧缮嬖?，不僅用于零件的檢測(cè)，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備,，能完成缺陷尺寸的在線檢測(cè),。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。